Development of Nanoimprint Lithography for Fabrication of Electrochemical Transducers
Popular Abstract in Swedish Avhandlingen ger en överblick över dagens status inom nanoimprintlitografi. Teknologin ger möjlighet att framställa nm-strukturer med en upplösning bättre än 10 nm och kan användas för massproduktion av hela wafers. Avhandlingen beskriver utvecklingen av reproducerbara imprintprocesser som t.ex. kan användas för framställning av nm-strukturerade fingerelektroder. DessaThis thesis gives an overview about the current status of nanoimprint lithography, a relatively new nanofabrication tool. The technology is capable for parallel mass production of nm-structured features having a resolution below 10 nm and is usable with high throughput on full wafer scale. The thesis is mainly divided into two parts dealing with nanoimprint lithography and electrochemistry. The w
