Fysik: Avancerad framställning av nanostrukturer
Kursens fokus ligger på moderna material- och processtekniker som idag används inom nanoteknologin, såsom elektronstrålelitografi, svepelektronmikroskopi, etsning, m.m. I den laborativa delen av kursen kommer studenterna, i ett projektarbete, att ha tillgång till ett modernt renrum och där tillverka komponenter med hjälp av dessa olika processtekniker. Arbete med strukturer på nanometerThe focus will be on modern material and process techniques currently used in nanotechnology, such as electron beam lithography, scanning electron microscopy, etching, etc. In the laboratory part of the course, the students will have access to a modern cleanroom to make structures and devices using the various process techniques mentioned above. Working with nanometer-scale structures takes place